Lam Research Corp 価格

ラム・リサーチ・コーポレーション（Lam Research Corporation）は、集積回路の製造に使用される半導体プロセス用装置の設計、製造、販売、リファービッシュ（再生・修理）、およびサービスを行っています。同社は、タングステンのメタライゼーション用途向けにコンフォーマル膜を成膜するALTUSシステムを提供しています。さらに、銅配線のコンタクト（インターコネクト）移行に用いるSABREの電気化学的堆積製品では、銅ダマシン製造を可能にします。フィルム処理向けには、SOLAの紫外線熱処理製品を提供しており、VECTORのプラズマ強化CVD ALD製品も取り扱っています。また、SPEEDのギャップフィル高密度プラズマ化学気相成長（CVD）製品、ならびに誘電体膜ソリューション向けのStrikerのシングルウェハー原子層堆積（ALD）製品も提供しています。加えて、誘電体エッチング用途向けのFlex、導体エッチング用途向けのKiyo、シリコン貫通ビア（TSV）エッチング用途向けのSyndion、金属エッチングプロセス向けのVersysの金属製品を提供しています。さらに、ダイの歩留まり向上のためのCoronusのベベルクリーン製品、さまざまなウェハー洗浄用途に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、およびSPシリーズの製品、そして半導体ウェハー製造における高精度なインライン質量測定のためのMetryx質量計測システムも販売しています。 同社は、米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、ならびに世界各国の半導体業界に対して、製品とサービスを提供しています。Lam Research Corporationは1980年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。